Magnetron sputterende afzetting in functioneel filmveld
toepassingen
| toepassingen | Specifiek doel | materiaal type |
| Functionele folie | Superharde film | TiN, TiC |
|
Lichtdichte folie |
Cr, AlSi, AlTi, enz | |
| Resistieve folie | NiCrSi, CrSi, MoTa, enz | |
| Supergeleidende folie | YbaCuO, BiSrCaCuo | |
| Magnetische folie | Fe, Co, Ni, FeMn, FeNi, enz |
Werkend principe
Er zijn veel soorten magnetronsputteren met verschillende werkingsprincipes en toepassingsobjecten.Maar daar
heeft één ding gemeen: het zorgt ervoor dat de elektronen in spiraalvormige banen dichtbij het doeloppervlak lopen door interactie tussen
magnetische en elektrische velden, waardoor de kans groter wordt dat ionen worden gegenereerd die afkomstig zijn van elektronen die argon raken.
De gegenereerde ionen raken vervolgens het doeloppervlak onder invloed van een elektrisch veld en sputteren de doelmaterialen.
Functies
| Model | MSC-FF-X-X |
| Soort coating | Diverse diëlektrische films zoals metaalfilm, metaaloxide en AIN |
| Coating temperatuurbereik | Normale temperatuur tot 500 ℃ |
| Coating vacuümkamer grootte | 700 mm * 750 mm * 700 mm (aanpasbaar) |
| Achtergrondvacuüm | < 5×10-7mbar |
| Bekledingsdikte | ≥ 10nm |
| Dikte controle precisie | ≤ ±3% |
| Maximale coatingmaat | ≥ 100 mm (aanpasbaar) |
| Uniformiteit van de filmdikte | ≤ ±0,5% |
| Substraat drager | Met planetair rotatiemechanisme |
| Doel materiaal | 4 × 4 inch (compatibel met 4 inch en lager) |
| Stroomvoorziening | De voedingen zoals DC, puls, RF, IF en bias zijn optioneel |
| Proces gas | Ar, N2, O2 |
| Let op: Aangepaste productie mogelijk. | |
Coating monster
Processtappen
→ Plaats het te coaten substraat in de vacuümkamer;
→ Vacumeer grofweg;
→ Zet de moleculaire pomp aan, vacumeerop topsnelheid, zet dan de revolutie en rotatie aan;
→ Verwarming van de vacuümkamer totdat de temperatuur de bereiktdoelwit;
→ Implementeer de constante temperatuurregeling;
→ Schone elementen;
→ Omdraaien en terug naar de oorsprong;
→ Coatingfilm volgens procesvereisten;
→ Verlaag de temperatuur en stop de pompeenheid na het coaten;
→ Stoppen met werken wanneerde automatische werking is beëindigd.
Onze voordelen
Wij zijn fabrikant.
Volwassen proces.
Antwoord binnen 24 werkuren.
Onze ISO-certificering
Delen van onze octrooien
Delen van onze onderscheidingen en kwalificaties van R&D
Onze producten worden over de hele wereld verkocht. U kunt gerust zijn op het hele proces van onze producten.
