Magnetron het Sputteren Deposito op het Gebied van de anti-Verkleuringsdeklaag
Toepassingen
| Toepassingen | Specifiek Doel | Materieel Type |
| Anti-verkleuringsdeklaag | De deklaag van de edel metaalantioxidatie | Al2O3, TiO2 |
Het werk Principe
De elektronen komen onophoudelijk met argonatomen in botsing in het motieproces, ioniserend een groot aantal argonionen aan
bombardeer het doel. Na veelvoudige botsingen, geleidelijk aan vermindert de energie van elektronen. Elektronenonderbreking weg
van de beperking van magnetische lijn van kracht, blijf van het doel, en tenslotte storting op het substraat weg.
Eigenschappen
| Model | Doctorandus in de exacte wetenschappen-adc-X |
| Deklaagtype | Diverse diëlektrische films zoals metaalfilm, metaaloxide en AIN |
| De waaier van de deklaagtemperatuur | Normale temperatuur aan 500℃ |
| De grootte van de deklaagluchtledige kamer | 700mm*750mm*700mm (Klantgericht) |
| Achtergrondvacuüm | < 5="">-7mbar |
| Deklaagdikte | ≥ 10nm |
| De precisie van de diktecontrole | ≤ ±3% |
| Maximumdeklaaggrootte | (Klantgerichte) ≥ 100mm |
| De uniformiteit van de filmdikte | ≤ ±0.5% |
| Substraatdrager | Met planetarisch omwentelingsmechanisme |
| Doelmateriaal | 4×4 duim (compatibel met 4 duim en hieronder) |
| Voeding | De voedingen zoals gelijkstroom, impuls, rf, ALS en bias facultatief zijn |
| Procesgas | AR, N2, O2 |
| Nota: Aangepaste beschikbare productie. | |
Deklaagsteekproef
Processtappen
→ Plaats het substraat voor deklaag in de luchtledige kamer;
→ Vacuumize ruwweg;
→ Zet moleculaire pomp aan, vacuumize bij hoogste snelheid, dan inschakelen de revolutie en de omwenteling;
→ Het verwarmen van de luchtledige kamer tot de temperatuur bereikt het doel;
→ Voer de constante temperatuurcontrole uit;
→ Schone elementen;
→ Draai en terug naar de oorsprong;
→ Deklaagfilm volgens procesvereisten;
→ De lagere temperatuur en houdt de pompassemblage na deklaag tegen;
→ Houd op werkend wanneer de automatische verrichting wordt gebeëindigd.
Onze Voordelen
Wij zijn fabrikant.
Rijp proces.
Antwoord binnen 24 werkuren.
Onze ISO-Certificatie
Delen van Onze Octrooien
Delen van Onze Toekenning en Kwalificaties van R&D
Onze producten worden over de hele wereld verkocht. U kunt gerust zijn op het hele proces van onze producten.
