Magnetronsputterafzetting in de halfgeleiderindustrie
toepassingen
| toepassingen | Specifiek doel | materiaal type |
| Halfgeleider | IC, LSI-elektrode, bedradingsfilm | AI, Al-Si, Al-Si-Cu, Cu, Au, Pt, Pd, Ag |
| VLSI-geheugenelektrode | Mo, W, Ti | |
| Diffusiebarrièrefilm | MoSix, Wsix, TaSix,, TiSx, W, Mo, W-Ti | |
| Zelfklevende folie | PZT(Pb-ZrO2-Ti) , Ti, W |
Werkend principe
Magnetron-sputterprincipe: onder invloed van een elektrisch veld botsen elektronen tijdens het proces met argonatomen
van met hoge snelheid naar het substraat vliegen, veel argonionen en elektronen ioniseren, en dan vliegen elektronen naar de
substraat.Argon-ionen bombarderen het doelwit met hoge snelheid onder invloed van een elektrisch veld, waardoor veel doelwitten sputteren
atomen, dan zetten de neutrale doelatomen (of moleculen) zich af op het substraat om films te vormen.
Functies
| Model | MSC-SEM-X—X |
| Soort coating | Diverse diëlektrische films zoals metaalfilm, metaaloxide en AIN |
| Coating temperatuurbereik | Normale temperatuur tot 500 ℃ |
| Coating vacuümkamer grootte | 700 mm * 750 mm * 700 mm (aanpasbaar) |
| Achtergrondvacuüm | < 5×10-7mbar |
| Bekledingsdikte | ≥ 10nm |
| Dikte controle precisie | ≤ ±3% |
| Maximale coatingmaat | ≥ 100 mm (aanpasbaar) |
| Uniformiteit van de filmdikte | ≤ ±0,5% |
| Substraat drager | Met planetair rotatiemechanisme |
| Doel materiaal | 4 × 4 inch (compatibel met 4 inch en lager) |
| Stroomvoorziening | De voedingen zoals DC, puls, RF, IF en bias zijn optioneel |
| Proces gas | Ar, N2, O2 |
| Let op: Aangepaste productie mogelijk. | |
Coating monster
Processtappen
→ Plaats het te coaten substraat in de vacuümkamer;
→ Vacumeer grofweg;
→ Zet de moleculaire pomp aan, vacumeer op topsnelheid, zet dan de omwenteling en rotatie aan;
→ Verwarming van de vacuümkamer totdat de temperatuur het doel bereikt;
→ Implementeer de constante temperatuurregeling;
→ Schone elementen;
→ Omdraaien en terug naar de oorsprong;
→ Coatingfilm volgens procesvereisten;
→ Verlaag de temperatuur en stop de pompeenheid na het coaten;
→ Stop met werken wanneer de automatische werking is voltooid.
Onze voordelen
Wij zijn fabrikant.
Volwassen proces.
Antwoord binnen 24 werkuren.
Onze ISO-certificering
Delen van onze octrooien
Delen van onze onderscheidingen en kwalificaties van R&D
Onze producten worden over de hele wereld verkocht. U kunt gerust zijn op het hele proces van onze producten.
