Magnetron het Sputteren Deposito in Opticaindustrie
Toepassingen
| Toepassingen | Specifiek Doel | Materieel Type |
| Optica |
Optische films zoals antireflection film, |
SiO2, TiO2, Ta2O5, ZrO2, HfO2 |
| Laag-emissieglas |
Veelvoudige lagen van metaal (zilver, koper, tin, enz.) |
|
| Transparant het leiden glas | ZnO: Al, enz. |
Het werk Principe
De eigenschappen van magnetron het sputteren zijn hoog film-forming tarief, lage substraattemperatuur, goede filmadhesie
en realiseerbare groot gebiedsdeklaag. Deze technologie kan in gelijkstroom-van magnetron het sputteren en rf magnetron worden verdeeld
het sputteren.
Eigenschappen
| Model | Doctorandus in de exacte wetenschappen-o-X |
| Deklaagtype | Diverse diëlektrische films zoals metaalfilm, metaaloxide en AIN |
| De waaier van de deklaagtemperatuur | Normale temperatuur aan 500℃ |
| De grootte van de deklaagluchtledige kamer | 700mm*750mm*700mm (Klantgericht) |
| Achtergrondvacuüm | < 5="">-7mbar |
| Deklaagdikte | ≥ 10nm |
| De precisie van de diktecontrole | ≤ ±3% |
| Maximumdeklaaggrootte | (Klantgerichte) ≥ 100mm |
| De uniformiteit van de filmdikte | ≤ ±0.5% |
| Substraatdrager | Met planetarisch omwentelingsmechanisme |
| Doelmateriaal | 4×4 duim (compatibel met 4 duim en hieronder) |
| Voeding | De voedingen zoals gelijkstroom, impuls, rf, ALS en bias facultatief zijn |
| Procesgas | AR, N2, O2 |
| Nota: Aangepaste beschikbare productie. | |
Deklaagsteekproef
Processtappen
→ Plaats het substraat voor deklaag in de luchtledige kamer;
→ Vacuumize de luchtledige kamer bij hoge en lage temperatuur, en roteert synchroon het substraat;
→ Begindeklaag: het substraat wordt gecontacteerd met voorloper de één na de ander en zonder gelijktijdige reactie;
→ Zuivering het met high-purity stikstofgas na elke reactie;
→ Houd op roterend het substraat nadat de filmdikte aan norm beantwoordt en de verrichting van het zuiveren en het koelen is
voltooid, neem dan het substraat nadat de vacuüm brekende voorwaarden met. zijn.
Onze Voordelen
Wij zijn fabrikant.
Rijp proces.
Antwoord binnen 24 werkuren.
Onze ISO-Certificatie
Delen van Onze Octrooien
Delen van Onze Toekenning en Kwalificaties van R&D
Onze producten worden over de hele wereld verkocht. U kunt gerust zijn op het hele proces van onze producten.
