Magnetron het Sputteren Deposito op Decoratief Deklaaggebied
Toepassingen
| Toepassingen | Specifiek Doel | Materieel Type |
| Decoratieve deklaag | Gekleurde film, Gemetalliseerde film | Al2O3, TiO2, enallerleimetaalfilms |
Het werk Principe
Magnetron het sputteren moet het sputteren tarief verhogen door een magnetisch veld op de doeloppervlakte te introduceren en te gebruiken
het magnetische veld om de geladen deeltjes te beperken om de plasmadichtheid te verhogen.
Eigenschappen
| Model | Doctorandus in de exacte wetenschappen-gelijkstroom-X |
| Deklaagtype | Diverse diëlektrische films zoals metaalfilm, metaaloxide en AIN |
| De waaier van de deklaagtemperatuur | Normale temperatuur aan 500℃ |
| De grootte van de deklaagluchtledige kamer | 700mm*750mm*700mm (Klantgericht) |
| Achtergrondvacuüm | < 5="">-7mbar |
| Deklaagdikte | ≥ 10nm |
| De precisie van de diktecontrole | ≤ ±3% |
| Maximumdeklaaggrootte | (Klantgerichte) ≥ 100mm |
| De uniformiteit van de filmdikte | ≤ ±0.5% |
| Substraatdrager | Met planetarisch omwentelingsmechanisme |
| Doelmateriaal | 4×4 duim (compatibel met 4 duim en hieronder) |
| Voeding | De voedingen zoals gelijkstroom, impuls, rf, ALS en bias facultatief zijn |
| Procesgas | AR, N2, O2 |
| Nota: Aangepaste beschikbare productie. | |
Deklaagsteekproef
Processtappen
→Place het substraat voor deklaag in de luchtledige kamer;
→ Vacuumize ruwweg;
→ Zet moleculaire pomp aan, vacuumize bij hoogste snelheid, dan inschakelen de revolutie en de omwenteling;
→ Het verwarmen van de luchtledige kamer tot de temperatuur bereikt het doel;
→ Voer de constante temperatuurcontrole uit;
→ Schone elementen;
→ Draai en terug naar de oorsprong;
→ Deklaagfilm volgens procesvereisten;
→ De lagere temperatuur en houdt de pompassemblage na deklaag tegen;
→ Houd op werkend wanneer de automatische verrichting wordt gebeëindigd.
Onze Voordelen
Wij zijn fabrikant.
Rijp proces.
Antwoord binnen 24 werkuren.
Onze ISO-Certificatie
Delen van Onze Octrooien
Delen van Onze Toekenning en Kwalificaties van R&D
Onze producten worden over de hele wereld verkocht. U kunt gerust zijn op het hele proces van onze producten.
