Magnetron-sputterafzetting in de perovskiet-dunne-filmbatterijindustrie
toepassingen
| toepassingen | Specifiek doel | materiaal type |
| Perovskiet dunne film batterij | Transparante geleidende laag | ZnO:Al |
Werkend principe
Magnetron sputteren is om de bewegingspaden van elektronen door magnetisch veld te beperken en uit te breiden, de beweging te veranderen
richtingen van elektronen, verhoog de ionisatiesnelheid van werkgas en gebruik effectief de energie van elektronen.
Magnetron sputteren heeft de volgende kenmerken: snelle afzettingssnelheid, hoge afzettingsefficiëntie, geschikt voor
grootschalige toepassing in industriële productie;lage ondergrondtemperatuur, geschikt voor het coaten van kunststoffen en
andere hittebestendige substraten;hoge zuiverheid van de voorbereide films, goede compactheid, betere filmuniformiteit en sterk
film-substraat cohesie;metaal, legering, oxide en andere films kunnen worden bereid;vrij van vervuiling.
Functies
| Model | MSC-PFB-X—X |
| Soort coating | Diverse diëlektrische films zoals metaalfilm, metaaloxide en AIN |
| Coating temperatuurbereik | Normale temperatuur tot 500 ℃ |
| Coating vacuümkamer grootte | 700 mm * 750 mm * 700 mm (aanpasbaar) |
| Achtergrondvacuüm | < 5×10-7mbar |
| Bekledingsdikte | ≥ 10nm |
| Dikte controle precisie |
≤ ±3% |
| Maximale coatingmaat | ≥ 100 mm (aanpasbaar) |
| Uniformiteit van de filmdikte | ≤ ±0,5% |
| Substraat drager | Met planetair rotatiemechanisme |
| Doel materiaal | 4 × 4 inch (compatibel met 4 inch en lager) |
| Stroomvoorziening | De voedingen zoals DC, puls, RF, IF en bias zijn optioneel |
| Proces gas |
Ar, N2, O2 |
| Let op: Aangepaste productie mogelijk. | |
Coating monster
Processtappen
→ Plaats het te coaten substraat in de vacuümkamer;
→ Vacumeer grofweg;
→ Zet de moleculaire pomp aan, vacumeer op topsnelheid, zet dan de omwenteling en rotatie aan;
→ Verwarming van de vacuümkamer totdat de temperatuur het doel bereikt;
→ Implementeer de constante temperatuurregeling;
→ Schone elementen;
→ Omdraaien en terug naar de oorsprong;
→ Coatingfilm volgens procesvereisten;
→ Verlaag de temperatuur en stop de pompeenheid na het coaten;
→ Stop met werken wanneer de automatische werking is voltooid.
Onze voordelen
Wij zijn fabrikant.
Volwassen proces.
Antwoord binnen 24 werkuren.
Onze ISO-certificering
Delen van onze octrooien
Delen van onze onderscheidingen en kwalificaties van R&D
Onze producten worden over de hele wereld verkocht. U kunt gerust zijn op het hele proces van onze producten.
