Afzetting van atoomlagen in de nanostructuur- en patroonindustrie
toepassingen
| toepassingen | Specifiek doel |
| Nanostructuur en patroon |
Door sjablonen ondersteunde nanostructuur |
| Door katalysator ondersteunde nanostructuur | |
| Regioselectieve ALD voor bereiding van nanopatronen |
Werkend principe
Atomaire laagafzetting is een methode voor het vormen van een film door de voorlopers in de gasfase afwisselend gepulseerd te maken
in de reactiekamer en het produceren van de gas-vaste fase chemisorptiereactie op het afgezette substraat
oppervlak.Wanneer de voorlopershet oppervlak van het afgezette substraat bereiken, zullen ze chemisch worden geadsorbeerd
het oppervlak en produceer de oppervlaktereacties.
Functies
| Model | ALD-NP-X—X |
| Coating film systeem | AL2O3,TiO2,ZnO enz |
| Coating temperatuurbereik | Normale temperatuur tot 500 ℃ (aanpasbaar) |
| Coating vacuümkamer grootte |
Binnendiameter: 1200 mm, hoogte: 500 mm (aanpasbaar) |
| Vacuümkamer structuur | Volgens de eisen van de klant |
| Achtergrondvacuüm | <5×10-7mbar |
| Bekledingsdikte | ≥0.15nm |
| Dikte controle precisie | ±0.1nm |
| Coating maat | 200×200mm² / 400×400mm² / 1200×1200 mm², enz. |
| Uniformiteit van de filmdikte | ≤±0,5% |
| Voorloper- en draaggas |
Trimethylaluminium, titaantetrachloride, diethylzink, zuiver water, |
| Let op: Aangepaste productie mogelijk. | |
Coating monsters
Processtappen
→ Plaats het te coaten substraat in de vacuümkamer;
→ Vacumeer de vacuümkamer bij hoge en lage temperatuur en roteer het substraat synchroon;
→ Begin met coaten: het substraat wordt achtereenvolgens en zonder gelijktijdige reactie in contact gebracht met de voorloper;
→ Spoel het na elke reactie met zeer zuiver stikstofgas;
→ Stop met roteren van het substraat nadat de filmdikte op peil is en het spoelen en koelen is voltooid
voltooid, verwijder dan het substraat nadat aan de voorwaarden voor vacuümonderbreking is voldaan.
Onze voordelen
Wij zijn fabrikant.
Volwassen proces.
Antwoord binnen 24 werkuren.
Onze ISO-certificering
Delen van onze octrooien
Delen van onze onderscheidingen en kwalificaties van R&D
Onze producten worden over de hele wereld verkocht. U kunt gerust zijn op het hele proces van onze producten.
