Atoomlaagafzetting in Magnetische hoofdindustrie
toepassingen
| toepassingen | Specifiek doel |
| Magnetische kop |
Niet-vlakke afzetting isolerende afstandslaag |
Werkend principe
Atoomlaagafzettingstechnologie is dat de voorlopers die bij de reactie betrokken zullen zijn, naar de geleidt
reactiekamer opeenvolgend (één voorloper tegelijk) door verschillende voorloperleidingen.Door middel van verzadiging
chemisorptie op het oppervlak van het substraat, wordt slechts één laag voorloper tegelijk geadsorbeerd.De overtollige voorlopers
en bijproducten worden verwijderd door inerte gassen Ar of N2zelfbeperking te bereiken.
Functies
| Model | ALD-MH-X—X |
| Coating film systeem | AL2O3,TiO2,ZnO enz |
| Coating temperatuurbereik | Normale temperatuur tot 500 ℃ (aanpasbaar) |
| Coating vacuümkamer grootte |
Binnendiameter: 1200 mm, hoogte: 500 mm (aanpasbaar) |
| Vacuümkamer structuur | Volgens de eisen van de klant |
| Achtergrondvacuüm | <5×10-7mbar |
| Bekledingsdikte | ≥0.15nm |
| Dikte controle precisie | ±0.1nm |
| Coating maat | 200×200mm² / 400×400mm² / 1200×1200 mm², enz. |
| Uniformiteit van de filmdikte | ≤±0,5% |
| Voorloper- en draaggas |
Trimethylaluminium, titaantetrachloride, diethylzink, zuiver water, stikstof, enz. |
| Let op: Aangepaste productie mogelijk. | |
Coating monsters
Processtappen
→ Plaats het te coaten substraat in de vacuümkamer;
→ Vacumeer de vacuümkamer bij hoge en lage temperatuur en roteer het substraat synchroon;
→ Begin met coaten: het substraat wordt achtereenvolgens en zonder gelijktijdige reactie in contact gebracht met de voorloper;
→ Spoel het na elke reactie met zeer zuiver stikstofgas;
→ Stop met roteren van het substraat nadat de filmdikte op peil is en het spoelen en koelen is voltooid
voltooid, verwijder dan het substraat nadat aan de voorwaarden voor vacuümonderbreking is voldaan.
Onze voordelen
Wij zijn fabrikant.
Volwassen proces.
Antwoord binnen 24 werkuren.
Onze ISO-certificering
Delen van onze octrooien
Delen van onze onderscheidingen en kwalificaties van R&D
Onze producten worden over de hele wereld verkocht. U kunt gerust zijn op het hele proces van onze producten.
