Afzetting van atoomlagen in de micro-elektromechanische systeemindustrie
toepassingen
| toepassingen | Specifiek doel |
|
Micro-elektromechanische systemen (MEMS) |
Anti-slijtage coating |
| Anti-adhesie coating | |
| Smeercoating |
Werkend principe
In elke procescyclus zal een enkele atoomlaag worden afgezet.Het coatingproces vindt meestal plaats in de reactie
kamer, en de procesgassen worden achtereenvolgens geïnjecteerd.Als alternatief kan substraat tussen twee worden overgedragen
zones gevuld met verschillende voorlopers (ruimtelijke ALD) om het proces te realiseren.Het hele proces, inclusief alle reacties
en spoeloperaties, zullen keer op keer worden herhaald totdat de gewenste filmdikte is gerealiseerd.De specifieke
de toestand van de beginfase wordt bepaald door de oppervlakte-eigenschappen van het substraat en vervolgens zal de filmdikte toenemen
constant met de toename van de reactiecyclusaantallen. Tot nu toe kan de filmdikte nauwkeurig worden geregeld.
Functies
| Model | ALD-MEMS-X—X |
| Coating film systeem | AL2O3,TiO2,ZnO enz |
| Coating temperatuurbereik | Normale temperatuur tot 500 ℃ (aanpasbaar) |
| Coating vacuümkamer grootte |
Binnendiameter: 1200 mm, hoogte: 500 mm (aanpasbaar) |
| Vacuümkamer structuur | Volgens de eisen van de klant |
| Achtergrondvacuüm | <5×10-7mbar |
| Bekledingsdikte | ≥0.15nm |
| Dikte controle precisie | ±0.1nm |
| Coating maat | 200×200mm² / 400×400mm² / 1200×1200 mm², enz. |
| Uniformiteit van de filmdikte | ≤±0,5% |
| Voorloper- en draaggas |
Trimethylaluminium, titaantetrachloride, diethylzink, zuiver water, |
| Let op: Productie op maat mogelijk. | |
Coating monsters
Processtappen
→ Plaats het te coaten substraat in de vacuümkamer;
→ Vacumeer de vacuümkamer bij hoge en lage temperatuur en roteer het substraat synchroon;
→ Begin met coaten: het substraat wordt achtereenvolgens en zonder gelijktijdige reactie in contact gebracht met de voorloper;
→ Spoel het na elke reactie met zeer zuiver stikstofgas;
→ Stop met roteren van het substraat nadat de filmdikte op peil is en het spoelen en koelen is voltooid
voltooid, verwijder dan het substraat nadat aan de voorwaarden voor vacuümonderbreking is voldaan.
Onze voordelen
Wij zijn fabrikant.
Volwassen proces.
Antwoord binnen 24 werkuren.
Onze ISO-certificering
Delen van onze octrooien
Delen van onze onderscheidingen en kwalificaties van R&D
Onze producten worden over de hele wereld verkocht. U kunt gerust zijn op het hele proces van onze producten.
