Afzetting van atomaire lagen in de optica-industrie
toepassingen
| toepassingen | Specifiek doel |
| Optiek | Optische componenten |
| Fotonisch kristal | |
| Elektroluminescente weergave | |
| Oppervlakte-verbeterde Raman-spectroscopie | |
| Transparant geleidend oxide | |
Lichtgevende laag, passiveringslaag, filterbeschermingslaag, antireflectiecoating, anti-UV |
Werkend principe
Atoomlaagafzetting (ALD), oorspronkelijk atomaire laagepitaxie genoemd, ook wel atomaire laag chemische damp genoemd
afzetting(ALCVD), is een speciale vorm van chemische dampafzetting (CVD).Deze technologie kan stoffen afzetten
op het oppervlakvan substraat in de vorm van een enkele atomaire film laag voor laag, wat vergelijkbaar is met gewone chemicaliën
afzetting, maar in deproces van atomaire laagafzetting, de chemische reactie van een nieuwe laag atomaire film is direct
geassocieerd met devorige laag, zodat door deze methode slechts één laag atomen in elke reactie wordt afgezet.
Functies
| Model | ALD-OX—X |
| Coating film systeem | AL2O3,TiO2,ZnO enz |
| Coating temperatuurbereik | Normale temperatuur tot 500 ℃ (aanpasbaar) |
| Coating vacuümkamer grootte | Binnendiameter: 1200 mm, hoogte: 500 mm (aanpasbaar) |
| Vacuümkamer structuur | Volgens de eisen van de klant |
| Achtergrondvacuüm | <5×10-7mbar |
| Bekledingsdikte | ≥0.15nm |
| Dikte controle precisie | ±0.1nm |
| Coating maat | 200×200mm² / 400×400mm² / 1200×1200 mm², enz. |
| Uniformiteit van de filmdikte | ≤±0,5% |
| Voorloper- en draaggas | Trimethylaluminium, titaantetrachloride, diethylzink, zuiver water, |
| Let op: Productie op maat mogelijk. | |
Coating monsters
Processtappen
→ Plaats het te coaten substraat in de vacuümkamer;
→ Vacumeer de vacuümkamer bij hoge en lage temperatuur en roteer het substraat synchroon;
→ Begin met coaten: het substraat wordt achtereenvolgens en zonder gelijktijdige reactie in contact gebracht met de voorloper;
→ Spoel het na elke reactie met zeer zuiver stikstofgas;
→ Stop met roteren van het substraat nadat de filmdikte op peil is en het spoelen en koelen is voltooid
voltooid, verwijder dan het substraat nadat aan de voorwaarden voor vacuümonderbreking is voldaan.
Onze voordelen
Wij zijn fabrikant.
Volwassen proces.
Antwoord binnen 24 werkuren.
Onze ISO-certificering
Delen van onze octrooien
Delen van onze onderscheidingen en kwalificaties van R&D
Onze producten worden over de hele wereld verkocht. U kunt gerust zijn op het hele proces van onze producten.
