Het Tekortdetector van de halfgeleider Materiële Oppervlakte
Toepassingen
Voor de procesbeheersing en het opbrengstbeheer van leeg masker op het gebied van halfgeleidervertoning en
spaander productie de van geïntegreerde schakelingen, wij hoge productie optische testende technologieën gebruiken snel te maken en
nauwkeurige automatische opsporing voor de oppervlaktetekorten van leeg masker. Volgens professionele gebruikersbehoeften,
wij hebben reeks van hoge de inspectiemachines van het productiemasker met betrouwbare kwaliteit en hoge kosten ontwikkeld
prestatiesverhouding, om van het van het glassubstraat, masker en paneel fabrikanten te helpen zich te identificeren en het masker te controleren
de tekorten, verminderen het risico van opbrengst en verbeteren hun onafhankelijke capaciteit van R&D voor kerntechnologieën.
Het werk Principe
Met achting aan niveau en type van oppervlaktetekort, de telecentric lens van 4x, het specifieke lichte en coaxiale licht van de hoekring
de bron wordt geselecteerd als visuele benadering. Wanneer het apparaat loopt, beweegt de steekproef zich langs X
de richting en de visiemodule voeren tekortopsporing langs de y-richting uit.
Eigenschappen
| Model | SDD0.5-0.5 | |
|
Prestatiesopsporing |
Opspoorbaar tekorttype | Krassen, Stof |
| Opspoorbare tekortgrootte | 1μm | |
|
Opsporingsnauwkeurigheid (gemeten) |
100% opsporing van tekorten/inzameling van tekorten (krassen, stof) |
|
| Opsporingsefficiency |
≤10 notulen (Gemeten waarde: 350mm x 300mm Masker) |
|
|
Optische Systeemprestaties |
Resolutie | 1.8μm |
| Vergroting | 40x | |
| Gezichtsveld | 0.5mm x 0.5mm | |
| Blauwe lichte verlichting | 460nm, 2.5w | |
|
De Prestaties van het motieplatform
|
X, y-twee-as motie Marmeren countertop vlakheid: 2.5μm Y-as z-Richting eindprecisie: ≤ 10.5μm Y-as z-Richting eindprecisie: ≤8.5μm
|
|
| Nota: Aangepaste beschikbare productie. | ||
Opsporingsbeelden
Onze Voordelen
Wij zijn fabrikant.
Rijp proces.
Antwoord binnen 24 werkuren.
Onze ISO-Certificatie
Delen van Onze Octrooien
Delen van Onze Toekenning en Kwalificaties van R&D
Onze producten worden over de hele wereld verkocht. U kunt gerust zijn op het hele proces van onze producten.
