PVD-Magnetron het Sputteren Deposito
Toepassingen
| Toepassingen | Specifiek Doel | Materieel Type |
| Halfgeleider | IC, LSI elektrode, bedradingsfilm | AI, al-Si, al-Si-Cu, Cu, Au, PT, Pd, Ag |
| VLSI-geheugenelektrode | Mo, W, Ti | |
| De film van de verspreidingsbarrière | MoSix, Wsix, TaSix, TiSx, W, Mo, w-Ti | |
| Zelfklevende film | PZT (Pb-ZrO2-Ti), Ti, W | |
| Vertoning | Transparante geleidende film | ITO (In2O; - SnO2) |
| Elektrode bedradingsfilm | Mo, W, Cr, Ta, Ti, Al, AlTi, AITa | |
| Electroluminescent film |
ZnS-Mn, znS-Tb, de CAS-EU, Y2O3, Ta2O5, BaTiO3 |
|
| Magnetische opname | Verticale magnetische opnamefilm | CoCr |
| Film voor harde schijf | CoCrTa, CoCrPt, CoCrTaPt | |
| Verdun film magnetisch hoofd | CoTaZr, CoCrZr | |
| Kunstmatige kristalfilm | CoPt, CoPd | |
| Optische opname | De film van de de schijfopname van de faseverandering | TeSe, SbSe, TeGeSb, enz. |
| De film van de magnetische schijfopname |
TbFeCo, DyFeCo, TbGdFeCo, TbDyFeCo |
|
| Optische schijf weerspiegelende film | AI, AITi, AlCr, Au, Au-legering | |
| De optische film van de schijfbescherming | Si3N4, SiO2+ZnS | |
| Perovskite thin-film batterij | Transparante het leiden laag | ZnO: Al |
| Medische behandeling | Biocompatibele materialen | Al2O3, TiO2 |
| Decoratieve deklaag | Gekleurde film, Gemetalliseerde film | Al2O3, TiO2, enallerleimetaalfilms |
| Anti-verkleuringsdeklaag | De deklaag van de edel metaalantioxidatie | Al2O3, TiO2 |
| Optische films | High-low r.i. | SiO2, TiO2, Ta2O5, ZrO₂, HfO2 |
| Andere toepassingen | Lichtdichte film | Cr, AlSi, AlTi, enz. |
| Weerstand biedende film | NiCrSi, CrSi, MoTa, enz. | |
| Supergeleidende film | YbaCuO, BiSrCaCuo | |
| Magnetische film | Fe, Co, Ni, FeMn, FeNi, enz. |
Het werk Principe
Magnetron het sputteren is een soort Fysiek Dampdeposito (PVD). Het maakt de elektronen zich in spiraal bewegen
wegen dichtbij de doeloppervlakte door de interactie tussen magnetische en elektrische velden, zo stijgen
waarschijnlijkheid van elektronen die argongas raken om ionen te produceren. De geproduceerde ionen raken dan de doeloppervlakte
onder de actie van elektrisch veld en sputter de doelmaterialen aan deposite dunne film op de substraatoppervlakte.
De algemene het sputteren methode kan voor voorbereiding van diverse metalen, ferromagnetische halfgeleiders worden gebruikt,
materialen, evenals geïsoleerde oxyden, keramiek en andere substanties. De aanraking van het materiaalgebruik PLC+
het systeem van de paneelhmi controle, dat parameters door programmeerbare procesinterface, met de functies kan ingaan
zoals het enige doel sputteren, opeenvolgende sputteren het met meerdere doeltalen en mede-sputtert.
Eigenschappen
| Model | MSC700-750-700 |
| Deklaagtype | Diverse diëlektrische films zoals metaalfilm, metaaloxide en AIN |
| De waaier van de deklaagtemperatuur | Normale temperatuur aan (Klantgerichte) 500℃ |
| De grootte van de deklaagluchtledige kamer | 700mm*750mm*700mm (Klantgericht) |
| Achtergrondvacuüm | <5>-7mbar |
| Deklaagdikte | ≥10nm |
| De precisie van de diktecontrole | ≤±3% |
| Maximumdeklaaggrootte | (Klantgericht) ≥100mm |
| De uniformiteit van de filmdikte | ≤±0.5% |
| Substraatdrager | Met planetarisch omwentelingsmechanisme |
| Doelmateriaal | 4x4 duim (compatibel met 4 duim en hieronder) |
| Voeding | De voedingen zoals gelijkstroom, impuls, rf, ALS en bias facultatief zijn |
| Procesgas | AR, N2, O2 |
| Nota: Aangepaste beschikbare productie. | |
Deklaagsteekproef
Processtappen
→ Plaats het substraat voor deklaag in de luchtledige kamer;
→ Vacuumize ruwweg;
→ Zet moleculaire pomp aan, vacuumize bij hoogste snelheid, dan inschakelen de revolutie en de omwenteling;
→ Het verwarmen van de luchtledige kamer tot de temperatuur bereikt het doel;
→ Voer de constante temperatuurcontrole uit;
→ Schone elementen;
→ Draai en terug naar de oorsprong;
→ Deklaagfilm volgens procesvereisten;
→ De lagere temperatuur en houdt de pompassemblage na deklaag tegen;
→ Houd op werkend wanneer de automatische verrichting wordt gebeëindigd.
Onze Voordelen
Wij zijn fabrikant.
Rijp proces.
Antwoord binnen 24 werkuren.
Onze ISO-Certificatie
Delen van Onze Octrooien
Delen van Onze Toekenning
Onze producten worden over de hele wereld verkocht. U kunt gerust zijn op het hele proces van onze producten.
